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2022年11月22日
2022年11月22日
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【干货】深入解析XPS的表面分析和深度分析技术
诠释干货
2022-11-22
来源 | 百度文库
电子能谱学中的主要技术均具有非常灵敏的表面性,是表面分析的主要工具。
根据激发离子以及出射离子的性质,可以分为以下几种技术:
紫外光电子能谱(UPS) 、
X射线光电子能谱(XPS) 、
俄歇电子能谱(AES) 、
离子散射谱(ISS)、
电子能量损失谱(EELS)。
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